产品规格

产品名称:6寸 PFA Cassette

产品编码:/

产品尺寸:143.7(L)X177.8(W)X171.2(H)

重 量:

容 量:25 pcs

适用晶圆:6 inch (Ø150mm)

组成材质:(铁氟龙) / PFA

槽 距:4.76 mm

  • 产品描述

PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒 为 为承载半导体晶圆片/硅片的容器,可依照客户需求设计,全氟烷氧基材質有优良的化学稳定性,耐高温200~220℃、耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱),主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。

● 厂内周转使用

● 可搭配Storage Box晶圆盒气密保护晶圆

● 灰/蓝/白


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