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产品名称：晶圆自动换片器 （12寸）
产品编码：
产品尺寸：
重 量：
容 量：
适用晶圆：
组成材质：
槽 距：
桌面式自动 FOUP 到 FOSB 晶圆传输工具。晶圆被映射，然后在Cassette中轻轻地散装;*大限度地减少与Cassette的接触，并消除微粒、磨损或晶圆边缘碎裂的机会。高可靠性和低维护。占地面积小，节省了宝贵的洁凈室空间。防静电结构;按顺序指定Cassette型号。
触摸屏控制
FOUP 到 FOSB映射跨插槽、双堆栈和晶圆存在的特征检查。
PVDF涂层棒一次传输25个晶圆
专为 ISO 3 级设计
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