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产品名称：CASSETTE Transfer / 自动推片器 / 自动倒片器 / 自动晶圆转换器 / 自动晶舟转换器
产品编码：自动推片器/自动倒片器/自动晶圆转换器 / 自动晶舟转换器 / Cassette Transfer / Wafer Transfer
产品尺寸：399(L) x 250(W) x 217.5(H)mm
重 量：4~6kg
容 量：
适用晶圆：4~8寸晶舟转换
组成材质：定制化
槽 距：
产品说明：
自动晶圆转移工具。晶圆在两个盒之间水平「滑动转移」。大多数尺寸都与cassette和薄型cassette兼容。
晶圆转移（AHWT）系列是一种维护成本非常低的产品。电流检测，如果感觉到电阻，则反转方向。设计用于 ISO 5 级（FS209E 10 级）;抗静电结构，耐化学腐蚀;按顺序指定cassette型号。
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