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产品名称:8寸 PFA Cassette
产品编码:/
产品尺寸:203.2(L)X233.8(W)X218.2(H)
重 量:
容 量:25 pcs
适用晶圆:inch (Ø200mm)
组成材质:(铁氟龙) / PFA
槽 距:6.35 mm
PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒 为 为承载半导体晶圆片/硅片的容器,可依照客户需求设计,全氟烷氧基材質有优良的化学稳定性,耐高温200~220℃、耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱),主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。
● 厂内周转使用
● 可搭配Storage Box晶圆盒气密保护晶圆
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