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产品名称：4寸 PFA Cassette
产品编码：
产品尺寸：141.4（L)X125.5(W)X113(H)
重 量：
容 量：25 pcs
适用晶圆：inch (Ø100mm)
组成材质：(铁氟龙)/PFA
槽 距：4.76 mm
PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒 为 为承载半导体晶圆片/硅片的容器，可依照客户需求设计，全氟烷氧基材質有优良的化学稳定性，耐高温200~220℃、耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。
● 厂内周转使用
● 可搭配Storage Box晶圆盒气密保护晶圆
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