● 300一体成型 FOUP有稳定且*的空间特性，FOUP产品外观上采一体成型设计，无螺丝装配，可杜绝螺丝       松脱的风险。更能*自动化操作*和可靠，杜绝AMHS系统震动时螺丝松动风险。

● 具有耐磨耗晶圆支撑器、wafer防滑动supporter设计和可透视视窗。

● 依制程需求，可选择一般款FOUP或是低吸湿性材质FOUP。

● 另有耐高温FOUP可达到制程整合，或是可使用薄化晶圆的对应型号。

● I300 FOUP参照SEMI标准规章的规格控 管细节和增强标准使用。

前开式  FOUP-正面

前开式  FOUP-侧面

前开式  FOUP-背面

前开式  FOUP-底面