产品规格

产品名称:8寸 PFA Cassette

产品编码:/

产品尺寸:203.2(L)X233.4(W)X219(H)

重 量:/

容 量:13pcs

适用晶圆:8 inch (Ø200mm)

组成材质:(铁氟龙) / PFA

槽 距:12.7mm

  • 产品描述

PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒 为 为承载半导体晶圆片/硅片的容器,可依照客户需求设计,全氟烷氧基材質有优良的化学稳定性,耐高温200~220℃、耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱),主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。


产品特点


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