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产品名称：Wafer SMIF Pod (8寸)
产品编码：
产品尺寸：291(L) x 281(W) x 254.4(H)
重 量：
容 量：8寸CASSETTE 1 PCS
适用晶圆：8 inch (Ø200mm)
组成材质：定制化
槽 距：
SMIF Pod 晶舟自动化传送盒，自动化传送盒内放置晶舟(Cassette)，可固定晶圆片，*200mm晶圆在制程站间运送与储存的*防护。尺寸皆符合SEMI规范，并提供高洁净度之晶圆承载与自动化解决方案。
● 高洁净度承载，选配充气功能，耐高温耐磨耗材质.
● CHD三点定位接触设计，减少印痕
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