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产品名称:Wafer SMIF Pod ( 6寸)
产品编码:
产品尺寸:
重 量:
容 量:
适用晶圆:
组成材质:定制化
槽 距:
SMIF Pod 开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒,自动化传送盒内放置晶圆芯片料盒(Cassette),可固定晶圆片,进入SMIF上料口输送,*150mm晶圆在制程站间运送与储存的*防护。
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