Wafer Cassette 制程卡匣/制程晶舟盒/晶圆盒/晶圆传送盒/晶圆载具 承载半导体晶圆片

(矽晶圆、锗、砷化镓、碳化矽、氮化镓…等，第二代半导体、第三代半导体材料)的容器，

使用在站别运输或出货用途，不可使用于化学制程。不同的颜色使用，方便在制程上分站

管理，有效的提高生产品质。

● 可选抗静电材料

● 厂内传送使用

● 适用于薄化晶圆

● 可搭配Storage Box气密保护晶圆