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产品名称：FOUP (前开式晶圆传输盒) （12寸25槽）
产品编码：
产品尺寸：440(L) x 347(W) x 337(H)mm
重 量：
容 量：25 PCS
适用晶圆：300mm(12寸)晶圆
组成材质：定制化
槽 距：10 mm
● I300一体成型 FOUP有稳定且*的空间特性，FOUP产品外观上采一体成型设计，，无螺丝装配，可杜绝螺丝松脱的风险。更能*自动化操作*和可靠，杜绝AMHS系统震动时螺丝松动风险。
● 具有耐磨耗晶圆支撑器、wafer防滑动supporter设计和可透视视窗。
● 依制程需求，可选择一般款FOUP或是低吸湿性材质FOUP。
● 另有耐高温FOUP可达到制程整合，或是可使用薄化晶圆的对应型号。
● I300 FOUP参照SEMI标准规章的规格控 管细节和增强标准使用。
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