产品规格

产品名称:Wafer Aligner / 晶圆自动寻角 / 晶圆自动寻边器 (6寸)

产品编码:4 6 8 自动寻角/寻边器

产品尺寸:

重 量:

容 量:

适用晶圆:4 6 8 晶圆

组成材质:POM(ESD)

槽 距:

  • 产品描述

台式自动EZ导轨™对准器批量对准晶圆平面,精度为+/- 1°。16 位平面位置开关允许在常见的行业*终平坦位置进行定位。ESD*由静电耗散材料控制,使晶圆和盒均接地。具有快速断开滚筒元件,便于维护和清洁。设计用于 ISO 3 级(FS209E 1 级);防静电结构;按顺序指定cassette型号

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