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产品名称:Wafer Aligner / 晶圆自动寻角 / 晶圆自动寻边器 (6寸)
产品编码:4 6 8 自动寻角/寻边器
产品尺寸:
重 量:
容 量:
适用晶圆:4 6 8 晶圆
组成材质:POM(ESD)
槽 距:
台式自动EZ导轨™对准器批量对准晶圆平面,精度为+/- 1°。16 位平面位置开关允许在常见的行业*终平坦位置进行定位。ESD*由静电耗散材料控制,使晶圆和盒均接地。具有快速断开滚筒元件,便于维护和清洁。设计用于 ISO 3 级(FS209E 1 级);防静电结构;按顺序指定cassette型号
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