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产品名称：Wafer SMIF Pod （6寸）
产品编码：
产品尺寸：
重 量：
容 量：6寸CASSETTE
适用晶圆：6寸
组成材质：定制化
槽 距：
SMIF Pod 晶舟传送盒，传送盒内放置晶舟(Cassette)，可固定晶圆片，*150mm晶圆在制程站间运送与储存的*防护。尺寸皆符合SEMI规范，并提供高洁净度之晶圆承载与自动化解决方案。
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