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产品名称:H300 FOUP(Front Opening UnifiedPod)(12寸13槽)
产品编码:FOUP 前开式晶圆传送盒(13槽带舌片)
产品尺寸:440(L) x 347(W) x 337(H)mm
重 量:
容 量:13 PCS(帶舌片)
适用晶圆:300mm(12寸)薄片晶圆
组成材质:定制化
槽 距:20 mm
300mm FOUP 前开式晶圆传送盒 / 晶圆传输盒,可保护、运送、并储存300mm晶圆,在运输传载及储存时提供*防护。降低因不同工艺步骤产生的晶圆微尘污染与损失,进而促进良率、提高产量,避免晶圆受静电损害,设计用于在受控环境中*可靠地固定硅片,并允许晶片在机器之间转移以进行处理或测量。 支援AMHS功能,尺寸符合SEMI规范,并提供高洁净度之晶圆承载与自动化解决方案,是*的12英寸晶圆厂重要的生产工具。专为薄片晶圆设计,*业界,从1到13片皆可放片生产。
前開式晶圓傳送盒-里面
前開式晶圓傳送盒-背面
前開式晶圓傳送盒-底盘
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